• 碳化硅SiC陶瓷材料具有优 良的常温力学性能、高抗弯强度、优良的抗氧化性、良好的耐腐蚀性、高抗磨 损以及低摩擦系数特点,同时碳化硅陶瓷的热传导能力较高,广泛应用于高温轴承、防弹板、喷嘴、高温耐 蚀部件以及高温和高频范围的电子设备零部件等领域。

  • 化学气相沉积(CVD)方法制 备的碳化硅材料可以达到理论密度并具有极高的纯度(99.999%),其物理 性能及力学性能均十分优异,可以用 作半导体刻蚀器件及MOCVD石墨托盘。

材料

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