半导体

  • CCP膜层技术MBL

    ICP膜层技术EMBL

    TSV膜层技术EMBT

    MOCVD膜层技术 EMMO

  • UPMS    提纯技 术可将半导体材料及薄膜材料提纯到5N

半导体

 

 

 

公司结 合独特的专有技术及提纯技术,使制造 出的半导体配件具有坚固耐用、耐高温、耐腐蚀性气体特点,有助于 延长半导体使用寿命和低的颗粒污染从而提高半导体生产良品率。

 

公司提 供以下半导体产品-刻蚀组件

耦合喷头Shower Head   

窗口ICP Window   

衬垫Liners  

环形器件Rings  

石英材料Quartz Parts  

硅质材料Silicon Parts   

喷嘴Nozzle

 

 

金属有 机化合物化学气相沉积MOCVD

 

碳化硅涂层石墨基座 Susceptor graphite SiC coated

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